位置补偿后的误差

设置在设置基准位置时各检出工具所检出的位置与在执行测试或在线执行时实际检出的检出位置的对位误差的阈值。单位为像素。
对位误差大于此阈值时,工件不能检出。不勾选此项,不进行对位误差检查。