进行有关尺寸搜索的设置。
- (1) 不进行尺寸搜索。
- (2) 在指定的上下限范围内进行尺寸搜索。
例如,假设以图(i)作为样板图案进行示教,相机抓取图片是相同形状但放大3%的工件。
指定(1)时,不进行尺寸搜索。只按“基准值”指定的尺寸进行检出,因此如图(ii)的虚线所示,按无放大的图案进行强制检出。将偏差量判为形状失真,评分相应降低。
指定(2)时,在“最小”和“最大”所指定的范围内进行尺寸搜索。因此,如图(iii)所示,可检出完全一致的图案。
指定(2)时,只要图案尺寸稍超出“最小”和“最大”所指定的范围,那么将不能检出,需加以注意。
(1)的检出处理时间比(2)短。(2)中的指定尺寸范围越小,检出处理时间越短。