在除掉遮蔽区域的测量区域内被检出的有效点数少于此阈值时,将测量结果设为无效。测量区域狭小,以及因图像的亮度变化而激光点列的检出产生偏差等情况下,通过减少激光的最少点数,就有可能得以进行检出。但是,由于根据被检出的点列计算工件平面的斜度,若点数少则还有可能导致测量精度变差。可分别调整激光1、激光2的参数。