基準位置を設定したときに各検出ツールが検出した位置と、テスト実行やライン実行で実際に検出した検出位置の合わせ誤差のしきい値を設定します。単位は画素です。合わせ誤差がこのしきい値よりも大きくなるとそのワークは検出しなくなります。チェックを外すと、合わせ誤差のチェックを行いません。