指定检出比样板图案失真多少像素以下的图案。按像素数指定失真允许值。标准值为1.5像素。
此设置值基本上不需要更改。除非是“袋装工件,实际物体会发生变形”之类的特殊情况,否则不建议加大失真允许值的设置值。
下面介绍失真允许值的大小导致动作不同的极端示例。
例如,以图(i)所示的圆作为样板图案进行示教。图片中有图(ii)所示的正五边形。如果失真允许值的设置降低,那么如图(ii)所示,不会判断形状不同也不会检出。如果失真允许值的设置提高,那么如图(iii)所示,就会判断形状相同并进行检出。
失真允许值的设置提高,图案匹配工具需要考虑失真形状,因此需要花费处理时间。设置降低,处理时间会缩短。
如果将失真允许值的设置提高,那么表面上看起来“实现了高评分检出”,但实际上很多情况下会导致误检出与未检出的临界不稳定。
从图7.1.6.4(c)的示例从也能看出,提高失真允许值基本上会导致误检出增多,需加以注意。